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      半導體設備

      BUPERMANN:用于半導體設備的行星減速機

      半導體加工領域,實踐證明半導體生產設備對螺旋傘齒輪精密伺服減速器要求非??量?。

      追求高強度、高精度、直角轉向、高負載能力和剛性。

      BUPERMANN通過與客戶緊密合作,我們的產品得到了持續的改進。

      BUPERMANN90度直角伺服減速器在半導體行業領域的應用優勢,能夠按照具體需求提供標準產品,進行個性化配置,運行可靠、精確的解決方案。

      半導體設備應用需求

      半導體設備高精度定位、高減速比、90度換向等應用,要求螺旋傘齒輪減速機擁有高減速比的情況且精度高。

      我們有適用于半導體設備的減速機:

      BPT型軸輸入伺服轉向器

      • 減速比

        1-5

      • 額定扭矩

        12-3200 Nm

      • 回程間隙

        6 arcmin

      • 輸入轉數

        1700-7500 rpm

      • 徑向力

        900-18000 N

      結構尺寸

      BPTF型法蘭輸入直角減速器

      • 減速比

        1-500

      • 額定扭矩

        12-3200 Nm

      • 回程間隙

        6-10 arcmin

      • 輸入轉數

        1700-8000 rpm

      • 徑向力

        900-18000 N

      結構尺寸

      BPTAW標準型直角行星減速器

      • 減速比

        3-100

      • 額定扭矩

        13-1200 Nm

      • 回程間隙

        3-10 arcmin

      • 輸入轉數

        2000-3000 rpm

      • 徑向力

        1100-19500 N

      結構尺寸

      BPTSM高精密伺服直角減速機

      • 減速比

        2-10

      • 額定扭矩

        9.5-2150 Nm

      • 回程間隙

        4-6 arcmin

      • 輸入轉數

        2000 rpm

      • 徑向力

        1100-45000 N

      結構尺寸

      BPTS型高精密軸輸入轉向器

      • 減速比

        2-5

      • 額定扭矩

        9.5-1200 Nm

      • 回程間隙

        6 arcmin

      • 輸入轉數

        1000-2000 rpm

      • 徑向力

        1100-24100 N

      結構尺寸

      BPTSW型高精密直角減速器

      • 減速比

        6-300

      • 額定扭矩

        9.5-2150 Nm

      • 回程間隙

        3-10 arcmin

      • 輸入轉數

        2000-4500 rpm

      • 徑向力

        1100-45000 N

      結構尺寸

      BPHN型中空旋轉平臺

      • 減速比

        1-18

      • 額定扭矩

        5-650 Nm

      • 回程間隙

        0.5-3 arcmin

      • 輸入轉數

        200 rpm

      • 徑向力

        400-7000 N

      結構尺寸

      BPHS型中空旋轉平臺

      • 減速比

      • 額定扭矩

        Nm

      • 回程間隙

        arcmin

      • 輸入轉數

        rpm

      • 徑向力

        N

      結構尺寸

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